碳化硅主軸

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產(chǎn)品描述

參數

特性項目					碳化硅SiC
產(chǎn)品編號 KemaTek No.					KMT-SSiC（R）	KMT-SSiC	KMT-SiSiC
顏色 Color					黑色 black	黑色 black	黑色 black
主要成分含量 Main Content Percentage					-	-	-
主要特征 Main Characteristics					高阻高導熱、耐腐蝕 High Volume Resistivity,High Thermal Conductivity,and Corrosion Resistance	較高的高溫強度、耐腐蝕、好的熱導率 High Temperature Strength,High Chemical Resistance,Good Thermal Conductivity	耐磨、耐腐蝕 Good Chemical and Abrasive Resistance
主要用途 Main Applications					半導體設備部件 Semiconductor Equipment Parts	耐腐蝕件、密封件、耐高溫件 Semiconductor Equipment Parts, Sealing Parts,Anti-Heat Parts	耐磨件、耐腐蝕件 Abrasive and Corrosion Resistance Parts
密度 Bulk Density			g/cc	ASTM-C20	3.16	3.15	3.02
吸水率 Water Absorption			%	ASTM-C373	0	0	0
機械特性 Mechanical Characteristics	維氏硬度 Vickers Hardness(Load 500g)		GPa	ASTM C1327-03	24.0	28.0	20.0
	抗彎強度 Flexural Strength		MPa	ASTM C1161-02c	450	380	250
	抗壓強度 Compressive Strength		MPa	ASTM C773	-	3900	-
	楊氏模量 Young's Modulus of Elasticity		GPa	ASTM C1198-01	420	410	330
	泊松比 Poisson's Ratio		-	ASTM C1198-01	-	0.14	-
	斷裂韌性 Fracture Toughness		MPa·m^1/2	ASTM C1421-01b (Kevron notched beam)	-	4	-
熱學(xué)特性 Thermal Characteristics	線(xiàn)性膨脹系數 Coefficient of Linear Thermal Expansion	40~400°C	×10^-6/°C	ASTM C372-94	4.2	4.0	4.5
	熱傳導率 Thermal Conductivity	20°C	W/（m·K）	ASTM C408-88	170	120	45
	比熱 Specific Heat		J/(Kg·K)×10³	ASTM E1269	-	0.65	-
	抗熱沖擊能力 Thermal Shocking Resistance		°C	Note 1	-	-	-
電學(xué)特性 Electrical Characteristics	體積電阻率 Volume Resistivity	20°C	Ω·cm	ASTM D257-99	10⁶	10²~10⁶	-
	介電強度 Dielectric Strength		KV/mm	ASTM D149-97	-	-	-
	介電常數 Dielectric Constant（1MHz）		-	ASTM D150-98	-	-	-
	介電損耗系數 Loss Tangent(1MHz)		×10^-4	ASTM D150-98	-	-	-
化學(xué)特性 Chemical Characteristics	硝酸 Nitric Acid(60%)		重量損失（WT Loss）	-	-	-	-
	硫酸 Sulphuric Acid(95%)			-	-	-	-
	氫氧化鈉 Caustic(30%)			-	-	-	-